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PE-CVD等离子体辅助化学气相沉积系统

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石墨烯清洗线

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等离子体刻蚀系统

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磁控溅射机

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G-CVD石墨烯化学气相沉积系统

石墨烯（Graphene）自2004年发现以来，在短短数年间已经成为凝聚态物理、化学、材料科学等领域研究中倍受瞩目的“明星材料”。化学气相沉积（CVD）是目前制备石墨烯的有效、也是具有很高研究价值的方法。搭建一套完整而高效的石墨烯化学气相沉积系统并非易事，即使在系统搭建完成后，要真正制备出单层石墨烯，还需要较长时间…

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